電子束加工是利用高能量的會聚電子束的熱效應或電離效應對材料進行的加工。利用電子束的熱效應可以對材料進行表面熱處理、焊接、刻蝕、鉆孔、熔煉，或直接使材料升華。電子束曝光則是一種利用電子束輻射效應的加工方法。

利用電子束的熱效應可以對材料進行表面熱處理、焊接、刻蝕、鉆孔、熔煉，或直接使材料升華。電子束曝光則是一種利用電子束輻射效應的加工方法（見電子束與離子束微細加工）。

作為加熱工具，電子束的特點是功率高和功率密度大，能在瞬間把能量傳給工件，電子束的參數(shù)和位置可以精確和迅速地調(diào)節(jié)，能用計算機控制并在無污染的真空中進行加工。根據(jù)電子束功率密度和電子束與材料作用時間的不同，可以完成各種不同的加工。

電子束功率密度達瓦/平方厘米時，電子束轟擊處的材料即局部熔化；當電子束相對工件移動,熔化的金屬即不斷固化,利用這個現(xiàn)象可以進行材料的焊接。電子束焊具有深熔的特點，焊縫的深寬比可達20:1甚至50:1。這是因為當電子束功率密度較大時，電子束給予焊接區(qū)的功率遠大于從焊接區(qū)導走的功率。利用電子束焊的這一特點可實現(xiàn)多種特殊焊接方式。利用電子束幾乎可以焊接任何材料，包括難熔金屬(W、Mo、Ta、Nb)、活潑金屬（Be、Ti、Zr、U）、超合金和陶瓷等。此外，電子束焊接的焊縫位置精確可控、焊接質(zhì)量高、速度快，在核、航空、火箭、電子、汽車等工業(yè)中可用作精密焊接。在重工業(yè)中，電子束焊機的功率已達100千瓦，可平焊厚度為200毫米的不銹鋼板。對大工件焊接時須采用大體積真空室，或在焊接處形成可移動的局部真空。

根據(jù)電子束流的產(chǎn)生原理，電子束加工具有如下特點：

1)電子束發(fā)射器發(fā)射的電子束流束斑極小，且可控，可以用于精密加工；

2)對于各種不同的被處理材料，其效率可高達75%一98%，而所需的功率則較低；

3)能量的發(fā)生和供應源可精確地靈活移動，并具有高的加工生產(chǎn)率；

4)可方便地控制能量束，實現(xiàn)加工自動化；

5)設(shè)備的使用具有高度靈活性，并可使用同一臺設(shè)備進行電子束焊接、表面改善處理和其他電子束加工；

6)電子束加工是在真空狀態(tài)下進行，對環(huán)境幾乎沒有污染；

7)電子束加工對設(shè)備和系統(tǒng)的真空度要求較高，使得電子束加工價格昂貴，一定程度上限制了其在生產(chǎn)中的應用。